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| 基于环形透镜的菲索干涉仪环形光源设计 | |
| 引用本文： | 陈秋白,张齐元,王艳,许帅,王全召,韩森.基于环形透镜的菲索干涉仪环形光源设计[J].激光与光电子学进展,2021,58(1):173-180. |
| 作者姓名： | 陈秋白 张齐元 王艳 许帅 王全召 韩森 |
| 作者单位： | 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123;苏州科技大学数理学院,江苏苏州215009;苏州维纳仪器有限责任公司,江苏苏州215123 |
| 摘 要： | 针对使用点光源的激光干涉仪在测量中容易出现相干噪声的问题,阐述了环形光源抑制相干噪声的原理,分析了环形光源半径及厚度与条纹可见度之间的关系,提出一种基于环形透镜产生环形光源的光学系统.该系统包括扩束系统、环形透镜和双远心镜头,根据菲索干涉仪中的准直镜头和干涉腔长得到环形光源的目标参数.使用Zemax分别设计了环形光源系... |
| 关 键 词： | 测量 干涉量度分析法 环形光源 相干噪声 环形透镜 双远心镜头 |
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