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| 先进栅叠层的在线光谱分析法 | |
| 作者姓名： | Ibrahim Burki Cristian Rivas Jeff Hurst Matt Weldon Henry Yeung Jimmy Price Patrick Lysaght P.Y.Hung Raj Jammy |
| 作者单位： | Metrosol Inc. Austin;Texas;Metrosol Inc.;Austin;Sematech; |
| 摘 要： | 量测平台的复杂性和光学原理上的局限性制约着测量系统的应用，直到真空紫外光谱反射仪的出现，这种状况才得到改变。 |
| 关 键 词： | 光谱分析法 在线 叠层 真空紫外光谱 测量系统 光学原理 复杂性 反射仪 |
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