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| 金刚石薄膜研究进展 | |
| 作者姓名： | 郑昌琼 |
| 摘 要： | 化工系无机材料研究室冉均国,郑昌琼、尹光福、芶清泉研究成功透红外性能好硬度高、耐腐蚀性强和生物性能良好的大直径金刚石薄膜。金刚石薄膜是新型技术中一种重要材料。化工系无机材料研究室名4年以来采用多种制备金刚石薄膜的办法(1)微波等离子沉积金刚石薄膜;(2)高频电感耦合辉光放电 |
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