Ar^(+)混合Fe-Dy多层膜的结构及性能SCIEI |
| |
引用本文: | 李胜利,阎凤章.Ar^(+)混合Fe-Dy多层膜的结构及性能SCIEI[J].金属学报,1994,30(4):A160-A163. |
| |
作者姓名: | 李胜利 阎凤章 |
| |
作者单位: | 1.北京科技大学; |
| |
摘 要: | 用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar^(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar^(+)离子注入能量110keV,剂量5×10^(15)─1×10^(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10^(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar^(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10^(15)/cm~2时下降幅度最大。
|
关 键 词: | 铁镝多层膜 离子束混合 结构 性能 Fe-Dy multilayer films. ion beam mixing amorpohization magnetic property |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|