脉冲高能量密度等离子体沉积氮化钛膜的结合强度

本文用脉冲高能量密度等离子体技术，在室温条件下，成功地在ＧＣｒ１５钢表面沉积了性能良好的氮化钛薄膜，用自动划痕试验仪测量了氮化钛薄膜的结合强度，研究结果表明：表征薄膜结合强度的临界载荷有相当高的值；氮化钛薄膜的临界载荷随脉冲轰击次数，内外电极的电压变化而变化，对沉积膜结合强度的这些变化给予了理论的解释与讨论。