|
|||||
|
|
| 离子束辅助沉积Fe－N薄膜的相形成SCIEI | |
| 作者姓名： | 江海 武庆兰 |
| 作者单位： | 1.清华大学; |
| 摘 要： | 用离子束辅助沉积方法合成Ｆｅ－Ｎ薄膜，用离子束背散射和Ｘ射线衍射方法分析薄膜成分和结构．结果表明，薄膜的组分（α－Ｆｅ，ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－Ｆｅ（２－３）Ｎ，γ＇－Ｆｅ４Ｎ相等）取决于沉积参数。给出了沉积温度和Ｎ／Ｆｅ原子到达比组成的相区域图． |
| 关 键 词： | 氮化铁 离子束 辅助沉积 磁性薄膜 ion beam assisted deposition iron nitride magnetic film |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |