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关于±1次衍射莫尔信号的数值仿真的研究
引用本文:蔡中华,余玲玲. 关于±1次衍射莫尔信号的数值仿真的研究[J]. 计算机仿真, 2006, 23(2): 294-296
作者姓名:蔡中华  余玲玲
作者单位:东南大学自动控制系,江苏,南京,210096
摘    要:通过对±1激光莫尔信号进行建模和仿真,研究其规律为精密定位提供依据。该文应用激光衍射理论研究了±1次莫尔信号的位移特性,根据菲涅耳和夫琅和费衍射原理建立了±1次莫尔信号与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对其变化规律进行研究。仿真结果表明,±1次莫尔信号具有稳定的周期性,非常适合作为精密定位的检测信号。在此基础上利用±1次激光莫尔信号进行了精密定位实验,结果表明基于±1次衍射莫尔信号的精密定位可获得±0.5μm的定位精度。

关 键 词:精密定位  数值仿真  莫尔信号
文章编号:1006-9348(2006)02-0294-03
修稿时间:2005-06-02

Numerical Simulation and Application of ±1st Diffraction Moiré Signals
CAI Zhong-hua,YU Ling-ling. Numerical Simulation and Application of ±1st Diffraction Moiré Signals[J]. Computer Simulation, 2006, 23(2): 294-296
Authors:CAI Zhong-hua  YU Ling-ling
Abstract:
Keywords:
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