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关于扫描电子束的均匀性
引用本文:许志祥. 关于扫描电子束的均匀性[J]. 核技术, 1986, 0(5)
作者姓名:许志祥
作者单位:上海整流器总厂
摘    要:电子加速器的主要用途是用作辐射源。然而,从加速器中引出来的电子束的束流密度太大,一般不能直接用来辐照样品,而要用扫描仪把电子束扫开。扫描后的电子束分布应力求均匀,但事实上并非如此。本文认为用三角波磁场扫描引起束流密度不均匀的原因之一是涡流造成的。

关 键 词:扫描电子束  电子加速器  辐照样品

The uniformity for scanning electron beam
Xu Zhixiang. The uniformity for scanning electron beam[J]. Nuclear Techniques, 1986, 0(5)
Authors:Xu Zhixiang
Affiliation:Shanghai General Rectifier Plant
Abstract:This paper describes the distribution of the scanning electron beam on irradiated samples, and indicates that the density of the scanning electron beam on samples is not uniform with trigonal magnetic field scanning. It is bigger in the middle. One reason causing this phenomenon is duo to the eddy current.
Keywords:: scanning electron beam electron accelerator irradiation sample
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