| 石英晶体真空退火炉控制系统设计 |
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| 引用本文： | 常宏杰,张新聚,岳彦芳,刘跃辉,杨光.石英晶体真空退火炉控制系统设计[J].真空,2009,46(1). |
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| 作者姓名： | 常宏杰 张新聚 岳彦芳 刘跃辉 杨光 |
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| 作者单位： | 河北科技大学机械电子工程学院,河北,石家庄,050054 |
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| 基金项目： | 河北科技大学科研基金 |
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| 摘 要： | 根据石英晶体真空退火炉的工艺过程和控制要求,设计了以SIMATIC S7-300 PLC为核心,以工业触摸屏为人机界面的电气控制系统.选用FM355-2S温度闭环控制模块实现对多个温控区的自适应温度控制,减轻了主CPU模块的控制任务,提高了系统可靠性.实践表明:该控制系统运行稳定,各项性能指标均满足技术要求.
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| 关 键 词： | 石英晶体 真空退火炉 温度闭环控制 |
Design of control system of vacuum annealing furnace for quartz crystal |
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| CHANG Hong-jie,ZHANG Xin-ju,YUE Yan-fang,LIU Yue-hui,YANG Guang.Design of control system of vacuum annealing furnace for quartz crystal[J].Vacuum,2009,46(1). |
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| Authors: | CHANG Hong-jie ZHANG Xin-ju YUE Yan-fang LIU Yue-hui YANG Guang |
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| Keywords: | PLC |
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