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| 多晶硅敏感技术(连载二) | |
| 引用本文： | 王善慈. 多晶硅敏感技术(连载二)[J]. 传感器与微系统, 1994, 0(2): 51-59 |
| 作者姓名： | 王善慈 |
| 作者单位： | 电子工业部第49研究所 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 多晶硅 敏感器件 敏感技术 薄膜 |
Sensing Technology Based on Polycryctalline Silicon (Serial two) |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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