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| 高精度4英寸硅片腐蚀装置 | |
| 作者姓名： | 刘沁 匡石 张纯棣 李民 |
| 作者单位： | 沈阳仪表科学研究院,辽宁,沈阳,110043 |
| 基金项目： | 国家十·五科技攻关项目 |
| 摘 要： | 高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制，一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀，无需人工控制，腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4英寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关键技术，并给出了设备的性能测试指标一 |
| 关 键 词： | MEMS 传感器 各向异性腐蚀 腐蚀装置 MEMT 硅 |
| 文章编号： | 1002-1841(2004)05-0006-02 |
| 修稿时间： | 2003-10-25 |
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