确保石英谐振器蒸发银层厚度一致性的探讨与实践 |
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引用本文: | 袁士德.确保石英谐振器蒸发银层厚度一致性的探讨与实践[J].电子工艺技术,1993(1):17-19,22. |
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作者姓名: | 袁士德 |
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作者单位: | 上海无线电28厂(200002) |
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摘 要: | 叙述了石英谐振器真空蒸镀银层的机理,分析了在进口的串联式真空镀膜设备上造成银层厚度不均匀的原因,是由于石英晶片与蒸发源的距离不等,采取了在蒸发源与承载板之间加金属档板的措施,从而减少了中间部分石英晶片的蒸镀量,保证了最后所有晶片蒸镀银层的一致性。
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关 键 词: | 石英谐振器 真空蒸镀 计算机控制 |
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