用统计工艺控制日记来完成的区间控制图 |
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引用本文: | 纪功铭.用统计工艺控制日记来完成的区间控制图[J].微电子学,1992,22(3):65-67. |
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作者姓名: | 纪功铭 |
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摘 要: | 人所熟知,产品的质量是设计和制造出来的。当设计正确合理时,如何保证制造过程的质量就十分关键了。这就要求每道工序都要能达到符合该工艺规范的预期指标值,每道工序加工质量的稳定性要好。换而言之,加工过程须处于受控状态。为此,产生了各式各样的控制图,这些控制图各有其用场与优缺点。控制图的基本形式如图1所示,加工件的质量数据处于上、下控制线之间就认为是受控的。在正常情况下,当加工处于受控状态时,其总体质量特性服从正态分布规律,从既保证质量又经济合理的角度出发,人们把上、下控制线间的范围定为±3σ(σ为其标准偏差)。因为落在±3σ以外的几率只有0.3%,是一个小几率,在次数少的活动中一般不会发生,所以认为它是受控的。
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关 键 词: | 电子产品 质量 控制图 统计工艺 |
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