| 微晶硅太阳电池 |
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| 引用本文： | 张晓丹,高艳涛,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍.微晶硅太阳电池[J].半导体学报,2005,26(8):1582-1585. |
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| 作者姓名： | 张晓丹 高艳涛 赵颖 朱锋 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国际科技合作项目 |
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| 摘 要： | 采用VHF-PECVD技术制备了系列微晶硅太阳电池．综合测试结果表明：硅烷浓度、热阱温度和前电极都对微晶硅太阳电池的性能有影响．在湿法腐蚀的ZnO衬底上制备的电池的效率比在ZnO/SnO2复合膜上制备的电池的效率高1.5%．在优化了沉积条件后，制备出效率达6.7%的微晶硅太阳电池（Jsc=18.8mA/cm2，Voc=0.526V，FF=0.68），电池的结构是glass/ZnO/p(μc-Si∶H)/i(μc-Si∶H)/(a-Si∶H)/Al，没有ZnO背反射电极．
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| 关 键 词： | 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅太阳电池 X射线衍射 |
| 文章编号： | 0253-4177（2005）08-1582-04 |
| 收稿时间： | 2004-12-29 |
| 修稿时间： | 2005-03-21 |
Study of Microcrystalline Silicon Solar Cells |
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| Zhang Xiaodan,Gao Yantao,Zhao Ying,Zhu Feng,Wei Changchun,Sun Jian,Geng Xinhua,Xiong Shaozhen.Study of Microcrystalline Silicon Solar Cells[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(8):1582-1585. |
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| Authors: | Zhang Xiaodan Gao Yantao Zhao Ying Zhu Feng Wei Changchun Sun Jian Geng Xinhua Xiong Shaozhen |
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