| 100keV Ar~+、Ne~+轰击铜靶所产生的溅射原子角分布与离子入射角的关系 |
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| 引用本文： | 李岱青,刘家瑞,徐天冰,张德龙.100keV Ar~+、Ne~+轰击铜靶所产生的溅射原子角分布与离子入射角的关系[J].核技术,1992(8). |
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| 作者姓名： | 李岱青 刘家瑞 徐天冰 张德龙 |
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| 作者单位： | 烟台师范学院，中国科学院物理研究所，中国科学院物理研究所，南开大学 烟台 264000，北京 100080，北京 100080，天津 300071 |
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| 摘 要： | 在40°和70°斜入射条件下,用100keV Ar~+、Ne~+轰击铜靶,Ar~+所产生的溅射原子角分布的溅射优先方向分别位于表面法线的两侧,溅射原子角分布对于表面法线明显不对称;而Ne~+所对应的溅射优先方向都位于表面法线方向,且溅射原子角分布对于表面法线是对称的。用级联碰撞理论分析了所得到的实验结果,并比较了Ar~+和Ne~+溅射机制上的不同。
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| 关 键 词： | 溅射 角分布 反冲原子 级联碰撞 |
Incident angle dependence of angular distributions in the sputtering of Cu by 100 keV Ar~+ and Ne~+ |
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| Li Daiqing.Incident angle dependence of angular distributions in the sputtering of Cu by 100 keV Ar~+ and Ne~+[J].Nuclear Techniques,1992(8). |
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| Authors: | Li Daiqing |
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| Keywords: | Sputtering Angular distributions Recoil atoms Cascade collision |
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