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| 脉冲激光MEMS加工技术 | |
| 引用本文： | 李艳宁,唐洁,饶志军,宋晓辉,胡晓东,傅星,胡小唐.脉冲激光MEMS加工技术[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 李艳宁 唐洁 饶志军 宋晓辉 胡晓东 傅星 胡小唐 |
| 摘 要： | 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处.进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术. |
| 关 键 词： | 脉冲激光 微机电系统 激光烧蚀 激光-LIGA技术 |
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