| 压电式微定位工作台及其控制系统 |
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| 引用本文： | 孙宝玉,梁淑卿,韩连英,荆丹,王登月. 压电式微定位工作台及其控制系统[J]. 微细加工技术, 2003, 0(4): 65-68,78 |
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| 作者姓名： | 孙宝玉 梁淑卿 韩连英 荆丹 王登月 |
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| 作者单位： | 1. 长春工业大学机电学院,长春,130012
2. 长春市新星锅炉厂,长春,130021 |
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| 基金项目： | 长春工业大学科技发展基金资助项目(03116) |
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| 摘 要： | 为了提高机床的定位精度，研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台。微定位工作台在滚珠丝杠副驱动的基础上，对工作台进行了二次精定位。给出了工作台的设计简图，并对其动力学模型进行了分析，结合检测装置和微机控制系统，设计了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位控制系统。实测表明，微定位工作台定位分辨率可达到0．01μm，可满足精密、超精密加工的需要。
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| 关 键 词： | 柔性铰链 压电陶瓷 微定位工作台 数字PID反馈控制 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)04-0065-04 |
Micro-positioning Stage Based on Piezoelectric Actuator and Its Controlling System |
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| SUN Bao-yu,LIANG Shu-qing,HAN Lian-ying,JING Dan,WANG Deng-yue. Micro-positioning Stage Based on Piezoelectric Actuator and Its Controlling System[J]. Microfabrication Technology, 2003, 0(4): 65-68,78 |
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| Authors: | SUN Bao-yu LIANG Shu-qing HAN Lian-ying JING Dan WANG Deng-yue |
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| Affiliation: | SUN Bao-yu~1,LIANG Shu-qing~1,HAN Lian-ying~1,JING Dan~1,WANG Deng-yue~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-positioning mechanism piezoelectric actuator flexible joint digital PID control |
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