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用残气谱研究HT—7超导托卡马克第一壁硼碳膜的吸氧性
作者姓名:方应翠
作者单位:合肥工业大学,机械与汽车学院,真空教研室,合肥230009
摘    要:硼碳膜吸氧将导致真空室残气中水分压的降低,所以可以通过分析各种情况下真空室残气谱水分压的变化,来研究托卡马克等一壁硼碳膜的吸氧过程,残气谱分析表明硼化过程中,硼碳膜吸氧;各种等离子体轰击过程中硼碳膜吸氧;而没有等离子体轰击时如抽本底真空过程中,硼碳膜不吸氧。了解这些过程对合理使用膜有重要意义。

关 键 词:残气谱 HT-7超导托卡马克 第一壁 硼碳膜 吸氧性 清洗
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