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奥宝全新AOI系统提供15μm检测能力
摘 要:
奥宝科技(Orbotech)日前发表UltraFusion200自动化光学检测(AOI)系统,可提供达15um的检测能力,能满足Ic基板与高端HDI的精密生产条件。借助成熟的Multi—ImageTechnology,UltraFusion200大幅减少了假点,相较于传统AOI效果,假点率降低了70%。异于传统AOI(黑白灰阶),Fusion系统使用不同的灯光、从各个角度进行检测,可检视出其他系统所看不到的细节。
关 键 词:
AOI系统
检测能力
Fusion
Multi
光学检测
生产条件
Ic基板
自动化
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