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| 机电信息 | |
| 摘 要： | 当今信息社会，传感器技术已发展成为与计算机同样重要的新技术，据专家分析，近期传感器技术的发展呈现如下趋势。１．微型化技术目前，采用的硅微机械加工技术，制造的新型微传感器颇具特色。２．多功能化技术为使传感器件由单一功能向多功能、高可靠性方向发展，在传感器的制作中采用了不少高新技术。３．薄膜化制造技术随着固体技术和微电子技术的发展，制造高精度、低功耗、小尺寸与快速响应的传感器成为当前的热点研究领域。４．集成化技术在传感器的制造中，采用了以微电子技术为核心的大规模集成电路技术，有效地提高了传感器的集成… |
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