| 改进的RF-LDMOS小信号模型参数提取方法 |
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| 引用本文： | 王帅,李科,陈蕾,姜一波,龚鸿雁,杜寰,韩郑生.改进的RF-LDMOS小信号模型参数提取方法[J].半导体技术,2012,37(2):159-163. |
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| 作者姓名： | 王帅 李科 陈蕾 姜一波 龚鸿雁 杜寰 韩郑生 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院微电子研究所,北京,100029;中国科学院微电子研究所,北京,100029 |
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| 摘 要： | 准确地提取RF-LDMOS小信号模型参数对LDMOS大信号模型建模十分重要,而且好的小信号模型能很好地反映微波器件的性能。针对LDMOS提出了一种改进的小信号模型参数提取方法,此方法增加了测试结构的建模和参数提取,极大地方便了S参数曲线的拟合,而且对于测试版图的研究有一定的指导意义。由此方法提取的小信号模型与实验测试数据在0.1～8 GHz拟合的很好,并且准确地预测了器件的特征频率。该模型和方法能够很好的适用于LDMOS的L,S波段小信号建模和参数提取。
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| 关 键 词： | LDMOS 小信号模型 去嵌入 参数提取 曲线拟合 |
Improved Parameter Extraction Method for the RF-LDMOS Small Signal Model |
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| Wang Shuai
,
Li Ke
,
Chen Lei
,
Jiang Yibo
,
Gong Hongyan
,
Du Huan
,
Han Zhengsheng.Improved Parameter Extraction Method for the RF-LDMOS Small Signal Model[J].Semiconductor Technology,2012,37(2):159-163. |
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| Authors: | Wang Shuai Li Ke Chen Lei Jiang Yibo Gong Hongyan Du Huan Han Zhengsheng |
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| Affiliation: | (Institute of microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China) |
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| Abstract: | The accurate parameter extraction of the RF-LDMOS small signal model is very important for building the large signal model of the LDMOS,and a good small signal model can exactly reflect the performances of a microwave device.An improved parameter extraction method of the LDMOS small signal model was presented.The method adds test structure modeling and its parameter extraction which greatly facilitates the curve-fitting,but also has a certain guiding significance for the study of the test structure layout.The measured data are fitted very well in the range of 0.1-8 GHz,and the cut-off frequency(fT)can be better predicted by using this method.The model and method are well suited for the L-and S-band small-signal modeling and parameter extraction of LDMOS devices. |
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| Keywords: | later double-diffused MOSFET(LDMOS) small signal model de-embedding parameter extraction curve-fitting |
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