| 一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计 |
| |
| 引用本文： | 曹钎龙,吴倩楠,朱光州,陈玉,王俊强,李孟委.一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计[J].微电子学,2022,52(3):437-441. |
| |
| 作者姓名： | 曹钎龙 吴倩楠 朱光州 陈玉 王俊强 李孟委 |
| |
| 作者单位： | 中北大学 仪器与电子学院, 太原 030051;中北大学 前沿交叉科学研究院, 太原 030051;中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051;中北大学 仪器与电子学院, 太原 030051;中北大学 微系统集成研究中心, 太原 030051;中北大学 理学院, 太原 030051 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61705200)；装备发展部新品项目(2018NW0026,2019NW0010)；中北大学青年学术带头人项目(QX201905) |
| |
| 摘 要： | 针对射频多端口器件微波测试需求,基于SOLT校准原理设计了一种工作频率在DC~12 GHz范围内、基于RF MEMS开关的四端口电子校准件。数值仿真结果表明,在短路状态下,器件的回波损耗小于0.15 dB；在直通状态下,器件的插入损耗小于0.5 dB,端口之间的隔离度大于20 dB；在开路状态下,器件的回波损耗小于0.3 dB,端口之间的隔离度大于25 dB；同时采用微表面加工工艺,利用磁控溅射工艺对负载电阻进行了制备,其测试结果约为50 Ω,符合设计要求。设计的基于RF MEMS开关的四端口校准件,具有射频性能好、体积小、易于集成等优点,能够满足X波段微波多端口器件在片测试的应用需求。
|
| 关 键 词： | RF MEMS 插入损耗 回波损耗 隔离度 微波校准 |
| 收稿时间： | 2021/9/27 0:00:00 |
Design of a Four Port Electronic Calibrator Based on RF MEMS Switch |
| |
| CAO Qianlong,WU Qiannan,ZHU Guangzhou,CHEN Yu,WANG Junqiang,LI Mengwei.Design of a Four Port Electronic Calibrator Based on RF MEMS Switch[J].Microelectronics,2022,52(3):437-441. |
| |
| Authors: | CAO Qianlong WU Qiannan ZHU Guangzhou CHEN Yu WANG Junqiang LI Mengwei |
| |
| Affiliation: | School of Instrument and Electronics, North University of China, Taiyuan 030051, P.R.China;Academy for Advanced Interdisciplinary Research, North University of China, Taiyuan 030051, P.R.China;Center for Microsystem Intergration, North University of China, Taiyuan 030051, P.R.China;School of Instrument and Electronics, North University of China, Taiyuan 030051, P.R.China;Center for Microsystem Intergration, North University of China, Taiyuan 030051, P.R.China;School of Science, North University of China, Taiyuan 030051, P.R.China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | RF MEMS insertion loss return loss isolation microwave calibration |
|
| 点击此处可从《微电子学》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《微电子学》下载全文 |
|
