| 利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术 |
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| 引用本文： | 邓晓蓓,王向军.利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术[J].光学精密工程,2004,12(Z1):31-35. |
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| 作者姓名： | 邓晓蓓 王向军 |
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| 作者单位： | 天津大学,精密仪器与光电子工程学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 本文的主要内容包括(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术.
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| 关 键 词： | MEMS 微加工 硅微加工 非全硅微陀螺 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)03-0031-05 |
| 收稿时间： | 2004/2/22 |
| 修稿时间： | 2004年2月22日 |
Micro-gyroscope technology based on MEMS microfabrication |
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| DENG Xiao-bei,WANG Xiang-jun.Micro-gyroscope technology based on MEMS microfabrication[J].Optics and Precision Engineering,2004,12(Z1):31-35. |
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| Authors: | DENG Xiao-bei WANG Xiang-jun |
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