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| 在线X射线反射率监测系统 | |
| 作者姓名： | 张瑞君 |
| 摘 要： | X射线技术在薄膜分析中具有重要作用。小角度X射线反射率检测是不透明材料、金属薄膜和多层结构的唯一非破坏性分析方法。但是,一般的薄膜分析X射线系统均为非在线测量,即只能在薄膜淀积工艺完成之后才进行测量。 目前已有一种新型的在线X射线反射率监测系统问 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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