| 纳米晶体TiO2多孔膜的制备 |
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| 引用本文： | 唐洁影,张旭苹,孟莉莉. 纳米晶体TiO2多孔膜的制备[J]. 光电子技术, 2003, 23(4): 215-217 |
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| 作者姓名： | 唐洁影 张旭苹 孟莉莉 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学微电子机械系统教育部重点实验室,南京,210096
2. 南京大学光通信工程研究中心,南京,210093 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，69978003， |
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| 摘 要： | 采用电子束蒸发方法成功制备了用于光电变色器件的纳晶多孔结构TiO2薄膜，借助于俄歇仪(AES)和原子力显微镜(AFM)分析了制备条件对薄膜的表面形貌、粒径大小及化学计量比的影响。最终给出了制备光电变色器件用纳晶多孔结构TiO2薄膜的工艺参数。
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| 关 键 词： | 纳米晶体 TiO2多孔膜 电子束蒸发 光电变色 |
| 文章编号： | 1005-488X(2003)04-0215-03 |
| 修稿时间： | 2003-11-10 |
Preparation of Nanocrystalline Porous TiO2 Thin Films |
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| TANG Jie-ying ,ZHANG Xu-ping ,MENG Li-li. Preparation of Nanocrystalline Porous TiO2 Thin Films[J]. Optoelectronic Technology, 2003, 23(4): 215-217 |
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| Authors: | TANG Jie-ying ZHANG Xu-ping MENG Li-li |
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| Affiliation: | TANG Jie-ying 1,ZHANG Xu-ping 2,MENG Li-li 1 |
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| Abstract: | The nanocrystalline porous TiO 2 thin films used in photoelectrochromic device s were prepared by the electron beam evaporation. The surface morphology, partic le size and stoichiometry affected by preparing conditions were analyzed with AE S and AFM. The technique parameters were given for the preparation of nanocrysta lline porous TiO 2 thin films used in photoelectrochromic devices. |
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| Keywords: | nanocrystalline titanium oxide th in film electron evaporation beam photoelectrochromism |
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