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TbFeCo缓冲层对钴铁氧体薄膜的微观结构和磁性能影响
引用本文:金沈贤,钟智勇,唐晓莉,荆玉兰,张怀武.TbFeCo缓冲层对钴铁氧体薄膜的微观结构和磁性能影响[J].硅酸盐学报,2008,36(11).
作者姓名:金沈贤  钟智勇  唐晓莉  荆玉兰  张怀武
作者单位:电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
基金项目:国家自然科学基金,国防科技预研项目
摘    要:采用射频磁控溅射技术在非晶TbFeCo缓冲层上制备了钴铁氧体(CoFe2O4)薄膜,并在空气中于300~1 000℃退火.采用X射线衍射仪、振动样品磁强计对薄膜的微观结构和磁性能进行表征.研究表明:样品均以单相尖晶石结构存在.在300℃退火时具有(111)择优取向;而高于300℃退火时薄膜的(111)择优取向逐渐消失;在800℃以上退火时出现(400)择优取向.所有薄膜均具有高矫顽力和高垂直各向异性,800℃退火样品垂直于膜面方向具有最大矫顽力832×103A/m,矩形度为0.73,900℃退火时矩形度达0.9.

关 键 词:钴铁氧体  铽铁钴缓冲层  微观结构  磁性能

EFFECTS OF TbFeCo UNDERLAYERS ON MICROSTRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTY OF COBALT FERRITE THIN FILM
JIN Shenxian,ZHONG Zhiyong,TANG Xiaoli,JING Yulan,ZHANG Huaiwu.EFFECTS OF TbFeCo UNDERLAYERS ON MICROSTRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTY OF COBALT FERRITE THIN FILM[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2008,36(11).
Authors:JIN Shenxian  ZHONG Zhiyong  TANG Xiaoli  JING Yulan  ZHANG Huaiwu
Abstract:
Keywords:
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