|
|||||
|
|
| 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 | |
| 引用本文： | 王健,揣荣岩,何晓宇,刘伟,张大为.多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器[J].仪表技术与传感器,2009(9). |
| 作者姓名： | 王健 揣荣岩 何晓宇 刘伟 张大为 |
| 作者单位： | 1. 沈阳工业大学信息科学与工程学院,辽宁沈阳,110142;沈阳化工学院,辽宁沈阳,110142 2. 沈阳工业大学信息科学与工程学院,辽宁沈阳,110142 3. 中国电子科技集团公司第四十七研究所,辽宁沈阳,110032 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，辽宁省科学技术基金 |
| 摘 要： | 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性.为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法.根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化.依据优化设计结果试制了压力传感器芯片.实验表明该传感器工艺简单、高温特性好、灵敏度高. |
| 关 键 词： | 压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜 |
Polysilicon Nano-film Piezoresistive Pressure Sensor |
|
| WANG Jian,CHUAI Rong-yan,HE Xiao-yu,LIU Wei,ZHANG Da-Wei.Polysilicon Nano-film Piezoresistive Pressure Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2009(9). | |
| Authors: | WANG Jian CHUAI Rong-yan HE Xiao-yu LIU Wei ZHANG Da-Wei |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |