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| 模拟计算优化SnO_2纳米半导体薄膜的光学性能 | |
| 引用本文： | 刘荷花.模拟计算优化SnO_2纳米半导体薄膜的光学性能[J].电子元件与材料,2015(2):74-75. |
| 作者姓名： | 刘荷花 |
| 作者单位： | ;1.太原学院 |
| 基金项目： | 山西省软科学研究项目资助 |
| 摘 要： | 针对化学气相沉积法在玻璃衬底上制备的SnO2薄膜,建立了计算模型,研究了SnO2薄膜的反射光谱性质,计算出相关的光学参数。结果表明:振荡模型结合Drude模型能较好地描述SnO2薄膜光学性能,可通过改变膜层厚度的方法对F掺杂SnO2薄膜光学性能进行模拟优化。 |
| 关 键 词： | SnO2薄膜 模拟计算 光学模拟 化学气相沉积 F掺杂 性能优化 |
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