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| 微波等离子体合成类金刚石（DLC）膜的研究 | |
| 作者姓名： | 于爱民 徐文国 |
| 作者单位： | 吉林大学化学系 长春市130023(于爱民，徐文国，张寒琦，段忆翔，杨广德，刘军)，吉林大学化学系 长春市130023(金钦汉) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 本文对用微波等离子体化学气相沉积方法，以甲烷和氢气的混合气体为原材，在硅或石英玻璃基片上合成类金刚石薄膜进行了研究，并对微波放电合成类金刚石膜的条件进行了考察和探讨。 |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 微波 等离子体 合成 |
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