| 纳米测量及纳米样板 |
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| 引用本文： | 蒋庄德,景蔚萱. 纳米测量及纳米样板[J]. 纳米技术与精密工程, 2004, 2(1): 16-19 |
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| 作者姓名： | 蒋庄德 景蔚萱 |
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| 作者单位： | 西安交通大学精密工程研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 高等学校骨干教师资助计划项目，国家教育部博士点基金项目 (1 9990 6982 1 ) |
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| 摘 要： | 介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状．提出了两种制备纳米结构样板的方法：Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺．最后对Si基底上制备的纳米结构样板进行了精度分析．
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| 关 键 词： | 计量学 原子力显微镜 纳米样板 探针诱导阳极氧化 机械划刻 线宽 直线度 平行度 纳米测量 |
| 文章编号： | 1672-6030(2004)01-0016-04 |
| 修稿时间： | 2003-07-02 |
Nano-Scale Measurement and Reference Materials |
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| JIANG Zhuang de,JING Wei xuan. Nano-Scale Measurement and Reference Materials[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2004, 2(1): 16-19 |
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| Authors: | JIANG Zhuang de JING Wei xuan |
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| Abstract: | The components of nano scale measurement system and the research situation of nano scale reference materials are introduced. Two different techniques to fabricate nano scale reference materials are investigated in detail: AFM tip induced local surface oxidation on Si substrate and mechanical modification of Au film with an AFM tip. 1 D as well as 2 D nano scale reference materials are fabricated with these techniques respectively. The fabrication precision of 1 D nano scale reference material with 7 grating lines on Si substrate is analyzed. |
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| Keywords: | metrology atomic force microscopy nano-scale reference material tip-induced anodization oxidation mechanical modification critical dimension linearity parallelism |
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