| 我国超净高纯试剂的应用与发展 |
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| 引用本文： | 徐英伟. 我国超净高纯试剂的应用与发展[J]. 微处理机, 2010, 31(3): 1-5. DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2010.03.001 |
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| 作者姓名： | 徐英伟 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳,110032 |
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| 摘 要： | 超净高纯试剂是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化工材料之一，一代微细加工技术需要一代超净高纯试剂与之配套。简要介绍了国内外微电子技术中集成电路、分立器件和液晶显示器件等制作技术的现状及发展趋势，介绍了超净高纯试剂在微电子技术发展过程中的几种主要应用及关键品种，阐述了国内外超净高纯试剂的现状及发展趋势，指出了我国超净高纯试剂的技术与产业化等方面与国外存在的主要差距和主要问题，最后指出了我国近期超净高纯试剂的产业化和研发的主要方向。
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| 关 键 词： | 微电子技术 超净高纯试剂 应用 发展 |
The Application and Development of Chinese Ultra-clean and High Purity Chemicals |
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| XU Ying-wei. The Application and Development of Chinese Ultra-clean and High Purity Chemicals[J]. Microprocessors, 2010, 31(3): 1-5. DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2010.03.001 |
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| Authors: | XU Ying-wei |
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