| 用于检测VOC蒸汽的声表面波传感器阵列 |
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| 引用本文： | 胡佳,杜晓松,蒋亚东. 用于检测VOC蒸汽的声表面波传感器阵列[J]. 仪表技术与传感器, 2013, 0(2) |
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| 作者姓名： | 胡佳 杜晓松 蒋亚东 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054 |
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| 基金项目： | 总装预研基金项目，中央高校基本科研业务费专项资金 |
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| 摘 要： | 研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列.阵列结构应紧凑布局,以缩短响应时间.开环检测声表面波振荡环路S21参数,以降低设计难度.使用参考环路以精确读取传感器的输出信号.使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量.该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力.
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| 关 键 词： | 声表面波传感器阵列 挥发性有机化合物(VOC) 声表面波振荡电路 气喷 |
SAW Sensor Array Designed for Detecting of VOCs Vapors |
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| HU Jia , DU Xiao-song , JIANG Ya-dong. SAW Sensor Array Designed for Detecting of VOCs Vapors[J]. Instrument Technique and Sensor, 2013, 0(2) |
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| Authors: | HU Jia DU Xiao-song JIANG Ya-dong |
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