| 多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构 |
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| 引用本文： | 揣荣岩,白羽,吴美乐,代全,靳晓诗. 多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构[J]. 仪表技术与传感器, 2013, 0(1) |
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| 作者姓名： | 揣荣岩 白羽 吴美乐 代全 靳晓诗 |
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| 作者单位： | 沈阳工业大学信息科学与工程学院,辽宁沈阳,110870 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，辽宁省科学技术基金资助项目 |
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| 摘 要： | 随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升。
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| 关 键 词： | 加速度传感器 多晶硅纳米膜 压阻式 超薄微梁 谐振频率 |
Polysilicon Nanofilms Piezoresistive Acceleration sensor with Ultra-thin Micro-beam |
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| CHUAI Rong-yan , BAI Yu , WU Mei-Le , DAI Quan , JIN Xiao-shi. Polysilicon Nanofilms Piezoresistive Acceleration sensor with Ultra-thin Micro-beam[J]. Instrument Technique and Sensor, 2013, 0(1) |
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| Authors: | CHUAI Rong-yan BAI Yu WU Mei-Le DAI Quan JIN Xiao-shi |
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