| PSD在光栏精密定位中的应用 |
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| 引用本文： | 孟令震 王建立 韩晓泉 吉桐伯 陈涛. PSD在光栏精密定位中的应用[J]. 光学精密工程, 2004, 12(Z2): 52-54 |
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| 作者姓名： | 孟令震 王建立 韩晓泉 吉桐伯 陈涛 |
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| 作者单位： | 孟令震（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,吉林,130033）;王建立（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,吉林,130033）;韩晓泉（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,吉林,130033）;吉桐伯（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,吉林,130033）;陈涛（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,吉林,130033） |
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| 摘 要： | 对光栏进行精密定位通常采用轴角编码器或圆感应同步器作为测角反馈元件.可以达到很高的测角精度,但有价格高、体积大、处理电路复杂等缺点.PSD(P0sition Sensitive Detector)敏感探测器是一种新型位置传感器,具有质量轻、精度高,体积小、价格低廉、处理电路简单等优点.采用PSD和电位计作为测角反馈元件,提出了一种新的光栏精密定位的方法,首先由电位计进行粗定位,然后由PSD进行精密定位.实验结果表明,定位精度达到了2',满足指标要求.
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| 关 键 词： | PSD 电位计 转角测量 光栏精密定位 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)04-0052-04 |
| 收稿时间： | 2004-03-22 |
| 修稿时间： | 2004-03-22 |
Application of PSD in diaphragm precision positioning |
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