| 基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制 |
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| 引用本文： | 李玉台,崔大付,刘长春.基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制[J].微纳电子技术,2007(Z1). |
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| 作者姓名： | 李玉台 崔大付 刘长春 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080 |
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| 摘 要： | 描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185s。
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| 关 键 词： | 微型色谱柱 气相色谱 微机电系统 |
MEMS-Based Microfabricated Columns for Gas Chromatography |
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| LI Yu-tai,CUI Da-fu,LIU Chang-chun.MEMS-Based Microfabricated Columns for Gas Chromatography[J].Micronanoelectronic Technology,2007(Z1). |
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| Authors: | LI Yu-tai CUI Da-fu LIU Chang-chun |
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| Abstract: | A microfabricated gas chromatography column based on MEMS technologies was presented.The column was fabricated using a deep reactive ion etch(DRIE) and was sealed with a Pyrex 7740 glass cap.The rectangular-shaped column,which is 6 m long(100 μm width and 100 μm height),has separated 2 gaseous components(benzene and toluene) in 185 s,and achieves approximately 4800 plates. |
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| Keywords: | micro column gas chromatography MEMS |
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