Affiliation: | Lehrstuhl für Technische Thermodynamik, Postfach 3049, Universität Kaiserslautern, 67653 Kaiserslautern, Germany;Zentrum für Mikroelektronik, Postfach 3049, Universität Kaiserslautern, 67653 Kaiserslautern, Germany;Lehrstuhl für Automatisierungstechnik, Postfach 3049, Universität Kaiserslautern, 67653 Kaiserslautern, Germany;Lehrstuhl für Technische Thermodynamik, Postfach 3049, Universität Kaiserslautern, 67653 Kaiserslautern, Germany |