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| CO_2激光诱导扩散的太阳电池初步研究 | |
| 引用本文： | 李元恒,端.CO_2激光诱导扩散的太阳电池初步研究[J].太阳能学报,1984(2). |
| 作者姓名： | 李元恒 端 |
| 作者单位： | 中国科学院力学研究所 (李元恒，端(木玉)英)，北京光电器件厂 (万景山)，北京光电器件厂(于秋兰) |
| 摘 要： | 以硅(Si)为代表的半导体材料激光退火是近几年比较活跃的研究领域。一般,采用红宝石、YAG、氩离子等波长较短的激光器作激光源。后来发现,硅材料在强CO_2激光辐照下由于载流子的热激发也引起强烈的吸收,这为CO_2激光用于半导体Si的加工奠定了基础。用激光试制太阳电池已有一些报道,其方法一般是先对Si作离子注入,然后用调Q红宝石激光或Nd:YAG激光进行退火。这种方法对改进电池性能虽有效果,但工艺复杂,成本高,实用性比较差。考虑到连续CO_2激光器的输出功率大、效率高、价格低,并已进入工业生产, |
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