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(NH4)2S treatment of the Si (100) surface and its effects on Al/Si Schottky barrier heights
Authors:Hu Aibin  Wang Wenwu  Xu Qiuxia
Affiliation:Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China
Abstract:ates originating from dangling bonds are passivated with S atoms.
Keywords:Schottky barrier  (NH4)2S treatment  dangling bonds  I-V
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