| SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究 |
| |
| 引用本文： | 姬洪 左长明 何士明 熊杰 李言荣. SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究[J]. 功能材料, 2004, 35(Z1): 3311-3313 |
| |
| 作者姓名： | 姬洪 左长明 何士明 熊杰 李言荣 |
| |
| 作者单位： | 姬洪（电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054）;左长明（电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054）;何士明（电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054）;熊杰（电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054）;李言荣（电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054） |
| |
| 摘 要： | 本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义.
|
| 关 键 词： | 高分辨X射线衍射 外延生长 弛豫态的点阵常数 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-3311-03 |
| 修稿时间： | 2004-04-01 |
STO films'''' research with aHRXRD |
| |
| JI Hong. STO films'''' research with aHRXRD[J]. Journal of Functional Materials, 2004, 35(Z1): 3311-3313 |
| |
| Authors: | JI Hong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
|
|
