注入离子分布及其有关现象

本文对空间的注入离子分布及其有关现象的理论和实验研究的现状作了一般性评论.首先,简要地叙述了确定离子分布的基本因子,如:核子和电子的阻挡本领.同时,根据采用 Legendre 多项式的数学分析,推导出有关离子分布的基本理论。其次,把理论结果与实验结果加以比较,表现出两者之间符合得相当好.本文还评述了与理论上所预示的分布之间有偏差是由于沟道效应和衬底表面的溅射现象所致.最后,讨论了不适用于上述理论的某些问题,如:多层衬底中的离子分布、损伤分布及碰撞效应.