附着基底薄膜材料的原位电镜拉伸实验方法

薄膜材料通常附着于基底，其在耐磨抗蚀涂层、微纳机电系统、微纳电子元器件等方面有重要应用。这些材料在不同的服役条件下会处于不同的应力状态，如压缩和拉伸等。因此，对薄膜材料的压缩、拉伸性能的评估非常重要。由于通常情况下薄膜材料与基底的结合力较强，难以将其从基底上剥离从而转移至微纳力学平台上进行测试，因此先前的研究主要集中于附着基底薄膜材料的压缩性能。为了弥补先前报道对于此种材料拉伸实验方法介绍的不足，本文以纳米结构铝合金薄膜为例介绍了原位扫描电子显微与原位透射电子显微拉伸试样的加工流程、实验平台的设置方法及实验结果的简要演示。此方法实施简便，为测试附着基底薄膜材料拉伸性能的通用技术。该技术的发展有望为高强高延性薄膜材料的开发和应用提供有力的实验测试手段支持。