光栅信号补偿及软件细分算法研究

光栅线性位移传感器作为精密测量的研究对象，其对栅距细分提高分辨率的研究具有重要地位。根据光栅信号的数学模型，提出了基于离散傅里叶变换预处理和最小二乘法椭圆拟合并根据输出信号各误差依次补偿的组合方法。对补偿后的信号提出了一种线性化处理的软件细分方法，该细分方法可以实现16倍的栅距细分。利用MATLAB软件对光栅信号的补偿算法和细分算法进行了仿真，验证了所提出算法的可行性。