| 基于光杠杆原理的纳米级微位移测量系统研究 |
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| 引用本文： | 张攀峰,吴宇,刘晓旻,杨国光. 基于光杠杆原理的纳米级微位移测量系统研究[J]. 光学仪器, 2006, 28(2): 61-65 |
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| 作者姓名： | 张攀峰 吴宇 刘晓旻 杨国光 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统。该系统的理论分辨力为4nm,实验测得系统分辨力小于10nm。经过实验,验证了该系统的可行性。实验结果表明,该装置灵敏度及重复性好,结构简单,便于构成微电子机械系统——M EM S(m icro electrom echan ical system s),实现系统微型化及自动化。
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| 关 键 词： | 光杠杆 纳米检测 PSD MEMS |
| 文章编号： | 1005-5630(2006)02-0061-05 |
| 收稿时间： | 2005-06-14 |
| 修稿时间： | 2005-06-14 |
Study on a nanometer system for displacement measurement based on optical lever |
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| ZHANG Pan-feng,WU Yu,LIU Xiao-min,YANG Guo-guang. Study on a nanometer system for displacement measurement based on optical lever[J]. Optical Instruments, 2006, 28(2): 61-65 |
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| Authors: | ZHANG Pan-feng WU Yu LIU Xiao-min YANG Guo-guang |
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| Abstract: | A nanometer system for displacement measurement is described,which is based on the principle of optical lever.This system′s resolving power is less than 10 nm,which is analyzed from the theory and proved by the experiment.The experiment result shows that this system has a high accuracy and repeatability.And with the advantage of simple configuration,so this system can be modified into MEMS(micro electro mechanical systems). |
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| Keywords: | optical lever nanometer displacement measurement PSD MEMS |
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