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分子束外延生长ZnO薄膜的XAFS研究
引用本文:吴志浩,周映雪,韦世强,陈栋梁,俞根才,张新夷.分子束外延生长ZnO薄膜的XAFS研究[J].核技术,2004,27(7):494-496.
作者姓名:吴志浩  周映雪  韦世强  陈栋梁  俞根才  张新夷
作者单位:复旦大学物理系,应用表面物理国家重点实验室,上海,200433;复旦大学同步辐射研究中心,上海,200433;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;复旦大学物理系,应用表面物理国家重点实验室,上海,200433
基金项目:国家重点基础研究专项973项目(2001-cb309505)资助
摘    要:利用同步辐射广延X射线吸收精细结构(EXAFS),研究在不同条件下分子束外延制备的ZnO薄膜,如分别在蓝宝石(0001)、Si(100)衬底上,生长温度为200℃或300℃下得到样品的局域结构。发现这些ZnO薄膜的EXAFS函数(k^2x(k))谱形状相似,说明各个样品都具有较为相近的基本局域结构。对生长温度为200℃的ZnO/Al2O3(0001)和ZnO/Si(100)样品,其Zn-O第一配位峰的无序度仃。分别为0.0054A^2和0.0080A^2,当生长温度从200℃提高到300℃时,ZnO/Al2O3(0001)样品的Zn-O第一配位峰的无序度仃。降为0.0039A^2。结果表明衬底与ZnO的晶格失配度和生长温度对ZnO薄膜的配位数、Zn-O键长影响不大,但较小的晶格失配度和较高的生长温度下得到的ZnO薄膜局域有序性较高;且样品的局域结构越有序,相应的配位峰幅度也越高。

关 键 词:分子束外延  ZnO  X射线吸收精细结构

XAFS study on ZnO films grown by molecular beam epitaxy
WUZhihao ZHOU Yinxue WEI Shiqiang CHEN Dongliang YU Gencai ZHANG Xinyi.XAFS study on ZnO films grown by molecular beam epitaxy[J].Nuclear Techniques,2004,27(7):494-496.
Authors:WUZhihao ZHOU Yinxue WEI Shiqiang CHEN Dongliang YU Gencai ZHANG Xinyi
Abstract:
Keywords:ZnO  MBE  XAFS
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