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| 纳米多层膜中晶体生长的互促效应 | |
| 引用本文： | 劳技军,曹章轶,孔明,董云杉,李戈扬. 纳米多层膜中晶体生长的互促效应[J]. 电子显微学报, 2004, 23(4): 373-373 |
| 作者姓名： | 劳技军 曹章轶 孔明 董云杉 李戈扬 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200030 2. 华东师范大学物理系,上海,200062 |
| 基金项目： | 上海市纳米科技专项基金资助项目 (No .0 3 5 2nm0 84) |
| 摘 要： | 由两种材料以纳米量级交替沉积形成多层结构时，由于一沉积层的“模板”效应，另一沉积层可以形成非平衡相并在一定的厚度范围内稳定存在。本文的研究发现，在纳米多层膜中，不但存在使非晶层晶化的模板效应，而且，由此效应形成的晶体层亦可对模板层的晶体生长起到促进作用。 |
| 关 键 词： | 纳米多层膜 晶体生长 互促效应 碳化硅材料 晶体结构分析 |
Mutual promotion effect of crystal growth in nanomultilayers |
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