| 基于PSD的高精度激光校准仪的设计 |
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| 引用本文： | 焦国华,李育林,胡宝文.基于PSD的高精度激光校准仪的设计[J].传感器与微系统,2006,25(6):64-66. |
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| 作者姓名： | 焦国华 李育林 胡宝文 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,西安光学精密机械研究所,陕西,西安,710068;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院,西安光学精密机械研究所,陕西,西安,710068 |
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| 摘 要： | 针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。
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| 关 键 词： | 激光微位移测量 激光校准 位置敏感探测器 轴系校准 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）06-0064-03 |
| 收稿时间： | 2005-12-22 |
| 修稿时间： | 2005年12月22日 |
Design of the high precision laser alignment system with PSD |
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| JIAO Guo-hua,LI Yu-lin,HU Bao-wen.Design of the high precision laser alignment system with PSD[J].Transducer and Microsystem Technology,2006,25(6):64-66. |
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| Authors: | JIAO Guo-hua LI Yu-lin HU Bao-wen |
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| Abstract: | Aim at the traditional manual way of the shaft alignment,a high precise laser alignment system with position sensing detector(PSD) is describes.In the PSD signal process,a new method to calculate the value of the position is adopted by using single chip computer with A/D change and the software arithmetic insteud of substitute the pure circuit method.The accuracy and the stability of system are improved.The range of offset measurement is (±4 mm);the resolution is 1.5 μm,the accuracy is 5.5 μm.It can be used for shaft aligment and position. |
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| Keywords: | laser micro-displacement measurement laser alignment position sensing detector(PSD) shaft(alignment) |
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