| 数据挖掘在芯片生产过程数据分析中的应用 |
| |
| 引用本文： | 王令群,郑应平,周爱华. 数据挖掘在芯片生产过程数据分析中的应用[J]. 半导体技术, 2006, 31(1): 23-25 |
| |
| 作者姓名： | 王令群 郑应平 周爱华 |
| |
| 作者单位： | 同济大学控制科学与工程系,上海,200092;机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;同济大学控制科学与工程系,上海,200092 |
| |
| 基金项目： | 科技部科研项目 , 中国科学院资助项目 |
| |
| 摘 要： | 介绍了如何使用基于粗糙集理论数据挖掘技术,对生产线的生产率和成品率进行快速的预测.在出现产量突然降低时,使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因,然后就可对其采取有效的措施,从而满足高产量的要求.
|
| 关 键 词： | 数据挖掘 半导体生产线 粗糙集 统计分析 |
| 文章编号： | 1003-353X(2006)01-0023-03 |
| 收稿时间： | 2005-06-02 |
| 修稿时间： | 2005-06-02 |
Application of Data Mining in Data Analysis of Semiconductor Manufacture |
| |
| WANG Ling-qun,ZHENG Ying-ping,ZHOU Ai-hua. Application of Data Mining in Data Analysis of Semiconductor Manufacture[J]. Semiconductor Technology, 2006, 31(1): 23-25 |
| |
| Authors: | WANG Ling-qun ZHENG Ying-ping ZHOU Ai-hua |
| |
| Abstract: | The fast evaluation of productivity and yields of manufacturing line are made by rough sets data mining techniques.Timely predict the yield and quickly discover the root causes of low-yield are both very important.Data mining is used to meet the above demands. |
| |
| Keywords: | data mining semiconductor manufacturing line rough set statistical analysis. |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
