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热蒸发法制备SnS薄膜及其表征
引用本文:程树英,钟南保,黄赐昌,陈国南. 热蒸发法制备SnS薄膜及其表征[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(4): 290-292,296
作者姓名:程树英  钟南保  黄赐昌  陈国南
作者单位:1. 福州大学电子科学与应用物理系,福州,350002;福州大学化学系,福州,350002
2. 福州大学电子科学与应用物理系,福州,350002
3. 福州大学化学系,福州,350002
基金项目:福建省教育厅科研项目,福州大学校科研和教改项目,福州大学校科研和教改项目
摘    要:用热蒸发技术在ITO玻璃基片上沉积SnS薄膜.通过对该薄膜进行结构、成分和表面形貌分析,表明它是具有正交结构的SnS多晶薄膜;相对于恒电流电沉积法制备的SnS薄膜来说,该薄膜颗粒更细,粒径在(60~100) nm,并且它的均匀性和对基片的附着力也更好.通过测量薄膜样品的反射和透射光谱,得到其直接禁带宽度Eg=1.34 eV,在基本吸收边附近的吸收系数大于2×104 cm-1.该薄膜的导电类型为p型,电阻率的数量级为10-2 Ω·cm.因此,用热蒸发技术制备出的SnS薄膜的质量和性能都比较理想,该薄膜非常适合做太阳能电池的吸收层.

关 键 词:SnS薄膜  光电性能  热蒸发法
文章编号:1672-7126(2005)04-0290-03
收稿时间:2004-12-28
修稿时间:2004-12-28

Characterization of SnS Films Prepared by Thermal Evaporation
Cheng Shuying,Zhong Nanbao,Huang Cichang,Chen Guonan. Characterization of SnS Films Prepared by Thermal Evaporation[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(4): 290-292,296
Authors:Cheng Shuying  Zhong Nanbao  Huang Cichang  Chen Guonan
Abstract:
Keywords:SnS film   Electrical and optical properties   Thermal evaporation
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