| 基于曲线拟合的小量程气体流量传感器 |
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| 引用本文： | 陈启兴,任国强,吴钦章.基于曲线拟合的小量程气体流量传感器[J].传感器与微系统,2008,27(10). |
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| 作者姓名： | 陈启兴 任国强 吴钦章 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209 |
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| 摘 要： | 开发了一种小量程的气体流量传感器.介绍了传感器系统的结构与工作原理,并对传感器系统进行了实验验证.实验结果表明:在常温与常压条件下,传感器工作正常,且气体流量的绝对误差不超过0.30 mL,相对误差不超过7.4%.它不仅是一种气体传感器,还是一种气体流量或流速传感器.该传感器具有快速响应、高灵敏度、便于安装、稳固、耐用和高性价比等特点,适合于任何气体.
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| 关 键 词： | 气体流量传感器 非线性曲线拟合 微处理器 机电设备 |
Gas flow sensor with small measurement range based on curve fitting |
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| CHEN Qi-xing,REN Guo-qiang,WU Qin-zhang.Gas flow sensor with small measurement range based on curve fitting[J].Transducer and Microsystem Technology,2008,27(10). |
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| Authors: | CHEN Qi-xing REN Guo-qiang WU Qin-zhang |
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