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| 东南大学MEMS教育部重点实验室 | |
| 摘 要： | 东南大学1983年开始了集成传感器的研究，并于1985年在德国召开的欧洲固态电子器件会议“ESSDERC 85”上报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science》（30（2），397，1987）报道了硅键合材料的测试结果。 |
| 关 键 词： | 教育部重点实验室 东南大学 MEMS 集成传感器 固态电子器件 流量传感器 |
Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University |
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